電子光学
電子光学（でんしこうがく、英語: Electron optics）は、幾何光学を電子線に適用した分野で電子線を静電場や磁場で制御して収束するために使用される。
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概要
編集電子の加速電圧が高ければ電子線の波長が短くなる。ザイデルの5収差に相当する収差が電子光学にもある。 電子レンズを使用して収束する。光学レンズとは異なり、電子に対するレンズは凸レンズしかないことが知られており[1][2]、収差の補正に利用する場合には選択肢が限られる[3]。
応用分野
編集脚注
編集- ^ Scherzerの前提
- ^ Scherzer, O_. "Über einige fehler von elektronenlinsen." Zeitschrift für Physik 101.9-10 (1936): 593-603.
- ^ EOS津野の電子光学講座にようこそ。
参考文献
編集- 電子光学. "電子光学, 1979." 真空 35.5 (1992): 512-519.
- 裏克己. "電子光学." 共 立 出 版 (1979).
- 裏克己. "電子・イオンビーム光学." (1994).
- 裏克己. ナノ電子光学. 共立出版, 2006.