三次元測定機

三次元測定機（さんじげんそくていき、英語: Coordinate Measuring Machine、略称CMM^[1]）とは、計測器の一種であり、立体を三次元的に計測できる測定機。

概要

接触式の概要を示す。プローブと呼ばれる鉄・ルビー・セラミック・等の材質の球体で、製品を点測定、もしくは線測定をして、得られた三次元の座標値を検出する。点群データを合成して面要素や円要素、円要素を合成して円筒要素などを作ることもできる。円の内外径や、平面度、平行度、直角度、位置度などの幾何学公差を求めることができる。これらの検出値は接続された電子計算機で演算処理される。

測定方式による差異

接触式（タッチプローブ）
非接触式
- 走査レーザプローブタイプ
- 光学タイプ

接触式と非接触式を組み合わせた物もある。

操作方式による差異

マニュアル形
CNC形

形状による差異

ブリッジ形
- ブリッジ移動タイプ
- テーブル移動タイプ
- ガイドセパレート
ホリゾンタルアーム形
多関節アーム形

製造メーカー

海外メーカー

FARO（アメリカ）
ヘキサゴンメトロジー（スウェーデン）
- ブラウン＆シャープ（アメリカ）
- ライカ（ドイツ）
- ライツ(ドイツ）
- テサ（スイス）
- ローマ（フランス）
- ローマシムコア（フランス）
- DEA（イタリア）
- マール（ドイツ）
- マイクローナ（ドイツ）
- コグニテンス（イスラエル）

カールツァイス（ドイツ）

国内メーカー

ミツトヨ
キーエンス
東京精密（カールツァイスと提携）
ニコンインストルメンツカンパニー
中村製作所
小坂研究所

プローブシステムメーカー

レニショー（イギリス）

脚注

[脚注の使い方]

^ 高増潔『三次元測定機の高精度化と不確かさ評価』{{{1}}} (PDF) 、2010-07-17閲覧。