ホウリンケイ酸ガラス (Borophosphosilicate glass, BPSG) とは、ホウ素リンを含むケイ酸ガラスの一種である。リンケイ酸ガラスやホウリンケイ酸ガラスは半導体デバイス製造において、金属層や導電層の間の絶縁層として利用されている。

ホウ素10宇宙線熱中性子の優れた補足体であるため、ホウリンケイ酸ガラスが使用されたデバイスはソフトエラー英語版が起こりやすいことが知られる。[1][2] 熱中性子を補足後、核分裂反応を起こし、ガンマ線アルファ粒子リチウムイオンを生成する。これらが付近に電荷を与え、データ損失(ビット反転、または単一事象反転英語版)を引き起こす懸念がある。

極限設計においては、上記のソフトエラーを避ける放射性耐性向上法としてホウ素11が使用される。ホウ素11は原子力産業の副産物として知られる。

参考文献

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  1. ^ Vázquez-Luque, Aurelio; Marín, Jesús; Terrón, J. Antonio; Pombar, Miguel; Bedogni, Roberto; Sánchez-Doblado, Francisco; Gómez, Faustino (2013-12). “Neutron Induced Single Event Upset Dependence on Bias Voltage for CMOS SRAM With BPSG”. IEEE Transactions on Nuclear Science 60 (6): 4692–4696. doi:10.1109/TNS.2013.2283532. ISSN 1558-1578. https://ieeexplore.ieee.org/document/6651671. 
  2. ^ An Accurate and Comprehensive Soft Error Simulator Y. Tosaka, S. Satoh, and H. Oka - Fujitsu Laboratories