スパッタ

スパッタ

• スパッタ（sputter） - 金属表面に高エネルギー粒子を当てると金属表面から原子が飛び出すこと。スパッタリングを参照。真空中にアルゴン（Ar）などのガスを低圧力で導入してグロー放電させ、プラズマを発生させて、このプラズマのターゲットへの衝突で原子を蒸発させガラス基板などに成膜する技術。
• スパッタ（spatter） - ガス溶接、アーク溶接時に飛散する微粒子。粒径は、約1μm〜数mm。塗装欠陥などの原因になり品質に悪影響を与える。